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離子束濺射系統(tǒng)

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  • [行業(yè)新聞] 離子束濺射優(yōu)缺點(diǎn)

    一、離子束濺射的長(zhǎng)處1、濺射鍍膜是依托動(dòng)量交換效果使固體資料的原子、分子進(jìn)入氣相，濺射出的均勻能量10eV，高于真空蒸發(fā)粒子的100倍左右，堆積在基體表面上之后，尚有足夠的動(dòng)能在基體表面上遷移，因此薄膜質(zhì)量較好，與基體結(jié)合牢固。
    發(fā)布時(shí)間：2020-03-17   點(diǎn)擊次數(shù)：168

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