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磁控濺射鍍膜設備的工作原理要從一開始的“濺射現(xiàn)象”說起。人們由起初發(fā)覺“濺射現(xiàn)象”發(fā)展至“濺射鍍膜”此間歷經(jīng)了相當長的發(fā)展時間,濺射現(xiàn)象早在19世紀50年代的法拉第氣體放電實驗就已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了。不過當時還只將此現(xiàn)象作為一種避免范疇的研究,認為這
發(fā)布時間:2022-03-23 點擊次數(shù):49
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磁控濺射鍍膜儀用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上。電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高
發(fā)布時間:2019-06-02 點擊次數(shù):56