您好，歡迎光臨沈陽宇杰真空設(shè)備有限公司！
集真空儀器裝置研發(fā)、生產(chǎn)、銷售
服務(wù)為一體的高科技企業(yè)
全國服務(wù)熱線
13555776988
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沈陽宇杰真空設(shè)備有限公司
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YJL單室離子束鍍膜設(shè)備
◆設(shè)備用途
該系統(tǒng)為高真空多功能離子束沉積系統(tǒng)， 系統(tǒng)可用于開發(fā)納米級的單層及多層功能膜和復(fù)合膜-可鍍金屬、 合金、 化合物、 半導(dǎo)體、 介質(zhì)復(fù)合膜等。 廣泛應(yīng)用于大專院校、 科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
◆設(shè)備組成
系統(tǒng)主要由沉積室、 考夫曼濺射離子源、 考夫曼清洗輔助離子源、 樣品臺、 樣品加熱裝置、膜厚監(jiān)測系統(tǒng)、 泵抽系統(tǒng)、 真空測量系統(tǒng)、 氣路系統(tǒng)、 電控系統(tǒng)等組成。
◆技術(shù)指標
1、極限真空度：≤8.0×10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后)；
2、系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0×10-8Pa.L/S；停機12小時≤5Pa.
3、系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣后，再開始抽氣，45分鐘可達到6.6×10-4Pa；
4、系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、安裝機臺及電控系統(tǒng)等部分組成。
公司地址：遼寧省沈陽市沈河區(qū)泉園街道 聯(lián)系電話：13555776988
