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沈陽宇杰真空設備有限公司
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FJL600型高真空硬碳鍍膜系統(tǒng)
◆設備用途
單室立式結構的高真空鍍膜設備,可用于開發(fā)單層膜—類金剛石膜(DLC)等。類金剛石膜具有紅外光譜透過率高、硬度高、摩擦系數(shù)小、化學穩(wěn)定性好等優(yōu)點,可以作為多種光學材料的增透率和保護膜,起到抗磨損、抗腐蝕、抗潮解和抗氧化的作用。適用于批量生產(chǎn)紅外透鏡的軍工及光學鏡片廠家。
◆設備組成
主要由鍍膜室、靶電極、射頻電源、電磁線圈及控制電源、泵抽系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)等組成。
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