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沈陽(yáng)宇杰真空設(shè)備有限公司
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YCL-50-A磁控與離子束聯(lián)合系統(tǒng)
◆設(shè)備用途
用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、鐵磁膜和磁性薄膜等的制備??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子及新材料領(lǐng)域。
◆設(shè)備組成
系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺(tái)、Kaufman離子槍、四工位轉(zhuǎn)靶、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。
◆技術(shù)指標(biāo)
極限真空度:≤6.67×10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后);
系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0×10-7 Pa.l/S;停機(jī)12小時(shí)≤5Pa.
系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂?,再開(kāi)始抽氣,45分鐘可達(dá)到6.67×10-4Pa;
系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、安裝機(jī)臺(tái)及電控系統(tǒng)等部分組成。
公司地址:遼寧省沈陽(yáng)市沈河區(qū)泉園街道 聯(lián)系電話:13555776988