您好，歡迎光臨沈陽宇杰真空設(shè)備有限公司！
集真空儀器裝置研發(fā)、生產(chǎn)、銷售
服務(wù)為一體的高科技企業(yè)
全國服務(wù)熱線
13555776988
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沈陽宇杰真空設(shè)備有限公司
電話：13555776988
網(wǎng)址：www.bjyhcx.cn
淘寶店鋪：https://shop311771663.taobao.com
地址：遼寧省沈陽市沈河區(qū)泉園街道
多室磁控濺射與離子束聯(lián)合系統(tǒng)
◆設(shè)備用途
用于納米級單層及多層功能膜、 硬質(zhì)膜、 金屬膜、 半導體膜、 介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。
可廣泛應(yīng)用于大專院校、 科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
◆設(shè)備組成
系統(tǒng)主要由濺射真空室、 進樣室、 永磁磁控濺射靶（三個靶）、 單基片加熱臺、 直流電源、
射頻電源、 工作氣路、 抽氣系統(tǒng)、 真空測量、 電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成。
◆技術(shù)指標
◆技術(shù)指標
極限真空度：≤6.8x10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)；
系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣后，再開始抽氣，40分鐘可達到8.0x10-4 Pa；
停泵關(guān)機12小時后真空度：≤4Pa。
公司地址：遼寧省沈陽市沈河區(qū)泉園街道 聯(lián)系電話：13555776988
