国产九九99久久精品影院_激情图片小说_久久久久久人妻精品一区二百内谢_疯狂的欧美乱大交_avtt东京热一区二区

離子束濺射系統(tǒng)

聯(lián)系我們

沈陽宇杰真空設備有限公司

電話:13555776988

網址:www.bjyhcx.cn

淘寶店鋪:https://shop311771663.taobao.com

地址:遼寧省沈陽市沈河區(qū)泉園街道

磁控離子束系統(tǒng)

磁控離子束系統(tǒng)

  • 詳細介紹

磁控離子束系統(tǒng)

磁控離子束系統(tǒng)

◆設備用途

用于納米級單層及多層功能膜、 硬質膜、 金屬膜、 半導體膜、 介質膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應用于大專院校、 科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。

◆設備組成

系統(tǒng)主要由濺射真空室、 磁控濺射靶、 基片水冷加熱臺、 工作氣路、 抽氣系統(tǒng)、 真空測量、 電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成。磁力送樣機構、 工作氣路、 抽氣系統(tǒng)、 安裝機臺、 真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。

◆技術指標

極限真空度:≤6.6x10-5 Pa (經烘烤除氣后);

系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S;

系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣后,再開始抽氣,40分鐘可達到8.0x10-4 Pa;

停泵關機12小時后真空度:≤5 Pa;

磁控濺射設備性能舉例:

1.用直流電源磁控沉積金屬Cu膜,可以制備出沉積速度40nm/min的膜層;同時小樣品的膜厚均勻性可以達到3%;可以在硬質和柔性沉底生長膜層;常溫也可以沉積Cu膜,不脫落,但是結合力不好;

2.用射頻電源磁控沉積氧化硅和氧化鋁膜層(等各頭氧化物薄膜),可以制備出沉積速度3—5nm/min的膜層;小樣品膜層厚度均勻性可以達到3%;膜層的介電性能較好;

系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片加熱公自轉臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。

本文網址:http://www.bjyhcx.cn/product/615.html

關鍵詞:磁控離子束系統(tǒng)廠家,磁控離子束系統(tǒng)哪家好,離子束濺射系統(tǒng)廠家

上一篇:沒有了
下一篇:沒有了

最近瀏覽:

沈陽宇杰真空設備有限公司

公司地址:遼寧省沈陽市沈河區(qū)泉園街道     聯(lián)系電話:13555776988

二維碼