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磁控濺射鍍膜儀有沒(méi)有輻射

發(fā)布日期：2020-06-29 作者：沈陽(yáng)宇杰真空設(shè)備有限公司點(diǎn)擊：

磁控濺射鍍膜儀有沒(méi)有輻射

磁控濺射儀當(dāng)然有輻射，
1、可見(jiàn)光波段：陰極發(fā)du射的電子電離zhi介質(zhì)氣體分子，dao分子/原子光譜。這些光密度不大，不至于刺傷鈦合金狗眼. 屬于無(wú)害輻射。2、不可見(jiàn)光波段：陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子，紅外/紫外，分子/原子光譜。紫外輻射有害

3、X射線：氣體電離后的離子，在陰極加快場(chǎng)效果，炮擊陰極靶材，效果區(qū)也比較復(fù)雜，除了完成離子刻蝕濺射以外，還有相似掃描電鏡相似的散射出現(xiàn)，如二次電子，二次離子，及各種射線輻射。在樣品端，電子會(huì)激發(fā)出更多X射線，盡管磁控設(shè)備讓大部分電子行程添加，到達(dá)樣品其能量衰減近乎零，但會(huì)有一部分陰極電子或二次電子以最大能量炮擊樣品，然后會(huì)有X射線產(chǎn)生，假如銜接相似掃描電鏡附件X射線能譜儀，你會(huì)發(fā)現(xiàn)驚喜！

磁控濺射鍍膜儀

至于這些X射線是否有害，一般來(lái)說(shuō)，紫外粒子能量足以電離物質(zhì)，磁控濺射儀作業(yè)電壓3000V，理論上最大輻射能量3Kev, 這些輻射是相當(dāng)風(fēng)險(xiǎn)的。
關(guān)于掃描電鏡樣品制備馳奔小型濺射儀來(lái)說(shuō)，大多1000V以下作業(yè)電壓，玻璃罩子能夠有用阻撓紫外能量以上的高能射線，而可見(jiàn)光輻射對(duì)人根本無(wú)害。
而高能濺射儀，可獲得更高濺射功率和膜層牢固度，多選用不銹鋼作業(yè)主要室，除了可獲得超高真空以外，防護(hù)有害輻射才能更強(qiáng)。