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濺射產(chǎn)額隨入射離子能量變化的簡單示意圖,簡稱濺射曲線。磁控濺射鍍膜儀廠家?guī)懔私飧啵?/span>
顏色可以做到比較深,耐磨性能也很好,但其色調(diào)不夠純正,總是黑中略帶黃色。并且由于鈦的熔點相對較低,在濺射時易出現(xiàn)大的顆粒,使其光令度不易得到改善。
濺射鍍膜過程主要是將欲沉積成薄膜的材料制成靶材,固定在濺射沉積系統(tǒng)的陰極上,待沉積薄膜的基片放在正對靶面的陽極上。濺射系統(tǒng)抽至高真空后充入氬氣等,在陰極和陽極之間加載高壓,陰陽極之間會產(chǎn)生低壓輝光放電。
磁控濺射鍍膜技術(shù)主要用于塑料、陶瓷、玻璃、硅片等制品來沉積金屬或化合物薄膜從而獲得光亮、美觀、經(jīng)濟的塑料、陶瓷表面金屬化制品。
磁控濺射不僅應(yīng)用于科研及工業(yè)領(lǐng)域,已延伸到許多日常生活用品,主要應(yīng)用在化學氣相沉積制膜困難的薄膜制備。
磁控濺射鍍膜技術(shù)由于其顯著的優(yōu)點已經(jīng)成為制備薄膜的主要技術(shù)之一。非平衡磁控濺射改善了等離子體區(qū)域的分布,顯著提高了薄膜的質(zhì)量。
磁控濺射技術(shù)已經(jīng)在我國的建材、裝飾、光學、防腐蝕、工磨具強化等領(lǐng)域比較廣泛的應(yīng)用,利用磁控濺射技術(shù)進行光電、光熱、磁學、超導、介質(zhì)、催化等功能薄膜制備是當前研究的熱點。
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